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一种用于干涉仪标准镜参考面的机械结构 

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申请/专利权人:长春盈捷光电科技有限公司

摘要:本实用新型涉及一种用于干涉仪标准镜参考面的机械结构,包括透镜、镜框、第一隔圈、第二隔圈;其中镜框的外侧壁沿径向设置第一螺纹孔、注胶孔,沿轴向设置第二螺纹孔;第一螺纹孔用于在装配透镜时旋入螺丝,利用螺丝进行初步固定,第二螺纹孔用于在定心调试时通过螺丝与辅助工装同轴连接,注胶孔用于在装配并经定心仪精调后注入胶,利用胶对透镜进行最终固定;第一隔圈设置在镜框的左侧,第二隔圈设置在镜框的右侧,第一隔圈用于补偿加工或装配误差,第二隔圈与标准镜的总镜筒连接。该机械结构可以对参考面前面的光学透镜和机械结构带来的误差进行补偿,达到最佳的波前值;同时可实现参考面的定心调节,提高标准镜的测量精度。

主权项:1.一种用于干涉仪标准镜参考面的机械结构,其特征在于,包括透镜、镜框、第一隔圈、第二隔圈;其中,所述透镜为凸透镜,是干涉仪标准镜中的最后一片镜片;所述镜框在靠近第一隔圈端的内侧壁沿镜框的周向设有挡圈,透镜安装在镜框内,且凸面设置在镜框的挡圈上,镜框的外侧壁在与透镜的侧壁相对的位置间隔设置至少3个第一螺纹孔和至少4个注胶孔,所述第一螺纹孔和注胶孔沿镜框的径向设置,镜框的侧壁上沿镜框的轴向还设置至少3个第二螺纹孔;所述第一螺纹孔用于在装配透镜时旋入螺丝,利用螺丝进行初步固定,所述第二螺纹孔用于在定心调试时通过螺丝与辅助工装同轴连接,所述注胶孔用于在装配并经定心仪精调后注入胶,利用胶对透镜进行最终固定;所述第一隔圈设置在镜框的左侧,靠近标准镜前端的光学透镜;所述第二隔圈设置在镜框的右侧,远离标准镜前端的光学透镜,第一隔圈、第二隔圈均与镜框对接,第一隔圈用于补偿标准镜前端的光学透镜和机械结构加工或装配的误差,第二隔圈的外侧壁设有外螺纹,通过螺纹的方式与标准镜的总镜筒连接,并将标准镜的所有光学透镜固定在标准镜的总镜筒内。

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权利要求:

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