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申请/专利权人：天津金海通半导体设备股份有限公司
摘要：本实用新型提供了一种可快速更换规格的吸头连接组件，包括吸头连接组件与吸头组件，所述吸头连接组件底部安装吸头组件，所述吸头连接组件包括吸头连接固定件、吸头连接旋帽、弹簧、挡圈、密封圈和气管接头。本实用新型有益效果：可快速更换吸头规格，并使得位置精度准确。解决了螺纹连接的强度与密封问题，又解决了更换吸头产生的精度偏差问题。吸头的定位销也解决了一些其他吸头安装后扭转的问题。
主权项：1.一种可快速更换规格的吸头连接组件，其特征在于：包括吸头连接组件1与吸头组件2，所述吸头连接组件1底部安装吸头组件2，所述吸头连接组件1包括吸头连接固定件11、吸头连接旋帽12、弹簧13、挡圈14、密封圈15和气管接头16，所述吸头连接固定件11一侧连接气管接头16，所述吸头连接固定件11底端内部套接吸头组件2，所述吸头连接固定件11底端外部套接吸头连接旋帽12，所述吸头连接固定件11、吸头连接旋帽12之间还从上至下分别套接弹簧13、挡圈14，所述吸头连接固定件11、吸头组件2的连接处还安装密封圈15。
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权利要求：
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