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申请/专利权人：斯可瑞(浙江)半导体装备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种新型直线模组，涉及直线模组技术领域。该新型直线模组，包括支撑底座，所述支撑底座的下表面固定连接有两个前后对应设置的安装板，支撑底座的上表面固定连接有两个前后对应设置的第一固定板，两个所述第一固定板的相对面转动连接有螺纹杆，且螺纹杆的后端转动贯穿出位于后侧第一固定板的后表面，通过启动吸尘器，吸尘器通过第一吸尘管与第二吸尘管以及三个第三吸尘管将滑台工作时产生的灰尘吸入到集尘箱的内部，对滑台与支撑底座上表面进行除尘处理，通过除尘装置与滑台同步运行，可以随时的对滑台工作时的灰尘进行除尘，省去需要工作人员定时清理，提高了清理效率与直线模组的使用寿命。
主权项：1.一种新型直线模组，包括支撑底座1，所述支撑底座1的下表面固定连接有两个前后对应设置的安装板2，支撑底座1的上表面固定连接有两个前后对应设置的第一固定板4，其特征在于：两个所述第一固定板4的相对面转动连接有螺纹杆3，且螺纹杆3的后端转动贯穿出位于后侧第一固定板4的后表面；其中，螺纹杆3后端的外壁固定套接有第一皮带轮12，支撑底座1上表面的中间开设有限位槽11，限位槽11贯穿出支撑底座1的下表面，限位槽11与螺纹杆3为上下对应设置；其中，螺纹杆3的外壁螺纹套接有滑台18，支撑底座1的上表面开设有两个左右对应设置的T形滑槽21；其中，支撑底座1的左侧设置有传动装置，支撑底座1的左侧设置有除尘装置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 斯可瑞(浙江)半导体装备有限公司 一种新型直线模组
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