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申请/专利权人：上海精密计量测试研究所
摘要：本实用新型公开了批量化光电探测器宽温域下参数原位测试装置及试验方法，测试装置包括：光源、拆换法兰盘、滤波轮、隔热玻璃、高低温试验箱、测试板、三维运动模组、Y轴伺服电机、环境控制装置、X轴伺服电机、操作台。三维运动模组安装在高低温试验箱内部底座上，X轴伺服电机和Y轴伺服电机组分别与三维运动模组连接，测试板安装在三维运动模组的平台上。本实用新型通过创新性试验装置的设计，实现了宽温域试验条件下的原位测试，解决了传统光电探测器在进行宽温域变化的试验项目时，需要在多台设备间转移的问题；同时实现了测试板对待测光电器件一对多的控制，降低了试验成本。
主权项：1.批量化光电探测器宽温域下参数原位测试装置，其特征在于，包括：光源、拆换法兰盘、滤波轮、隔热玻璃、高低温试验箱、测试板、三维运动模组、Y轴伺服电机、环境控制装置、X轴伺服电机、操作台；所述三维运动模组安装在高低温试验箱内部底座上，三维运动模组包括：X、Y、Z三轴滑轨；所述X轴伺服电机和Y轴伺服电机组分别通过螺杆，穿过高低温试验箱侧壁上的预留孔，与三维运动模组连接，Z轴电机通过螺杆穿过高低温试验箱腔室内底板，安装在高低温试验箱内；所述测试板安装在三维运动模组的平台上；所述操作台通过连接线，穿过高低温试验箱侧壁上的导线孔，与测试板相连接；所述高低温试验箱一侧预留开口，密封安装隔热玻璃；所述滤波轮一侧与隔热玻璃相连接，另一侧通过拆换法兰盘安装光源；所述高低温试验箱开闭舱门对侧留有换气孔，由输气管密封连接到环境控制装置。
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百度查询： 上海精密计量测试研究所 批量化光电探测器宽温域下参数原位测试装置
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