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一种LTCC基板内埋实心金属墙屏蔽结构的制备方法 

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申请/专利权人:中国电子科技集团公司第二十九研究所

摘要:本发明公开了一种LTCC基板内埋实心金属墙屏蔽结构的制备方法,包括:生瓷微缝隙加工:在生瓷上制备出实心金属墙屏蔽结构所需要的微缝隙;生瓷整体覆膜保护:对带有微缝隙的生瓷进行整体覆膜保护;微缝隙浆料填充:对生瓷上的微缝隙进行金属浆料填充;生瓷脱膜:对多层生瓷进行脱膜,并对多余的金属浆料进行修平;生瓷叠层与层压:通过LTCC常规工艺对多层生瓷进行叠层,并通过温水等静压方式进行层压,形成具有内埋实心金属墙屏蔽结构的LTCC电路胚体;电路胚体烧结:对LTCC电路胚体进行共烧,最终形成具有内埋实心金属墙屏蔽结构的LTCC电路基板。本发明能够大幅提升基板内部相邻射频通道之间,尤其在高频段的隔离度。

主权项:1.一种LTCC基板内埋实心金属墙屏蔽结构的制备方法,其特征在于,包括:生瓷微缝隙加工:在生瓷上制备出实心金属墙屏蔽结构所需要的微缝隙;生瓷整体覆膜保护:对带有微缝隙的生瓷进行整体覆膜保护;微缝隙浆料填充:对生瓷上的微缝隙进行金属浆料填充;生瓷脱膜:对多层生瓷进行脱膜,并对多余的金属浆料进行修平;生瓷叠层与层压:通过LTCC即低温共烧陶瓷常规工艺对多层生瓷进行叠层,并通过温水等静压方式进行层压,形成具有内埋实心金属墙屏蔽结构的LTCC电路胚体;电路胚体烧结:对LTCC电路胚体进行共烧,最终形成具有内埋实心金属墙屏蔽结构的LTCC电路基板。

全文数据:

权利要求:

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