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硅片切割方法、装置、设备及存储介质 

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申请/专利权人:珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司

摘要:本申请提出一种硅片切割方法、装置、设备及存储介质,涉及硅片加工技术领域,用于在硅片切割过程中动态调整工艺参数,保障硅片切割的品质;该方法包括:硅片切割装置获取金刚线的进给位置、工作台压紧力、线弓高度以及电机扭矩;并确定与进给位置对应的工艺参数,工艺参数包括线速度、进给速度、送线长度以及回线长度。进一步的,硅片切割装置根据工作台压紧力、线弓高度以及电机扭矩确定调整档位;进而根据调整档位对工艺参数进行调整,得到目标工艺参数,并基于目标工艺参数切割硅片。

主权项:1.一种硅片切割方法,其特征在于,所述方法包括:获取金刚线的进给位置、工作台压紧力、线弓高度以及电机扭矩;确定与所述进给位置对应的工艺参数,所述工艺参数包括线速度、进给速度、送线长度以及回线长度;根据所述工作台压紧力、所述线弓高度以及所述电机扭矩确定调整档位;根据所述调整档位对所述工艺参数进行调整,得到目标工艺参数,并基于所述目标工艺参数切割硅片。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 珠海富山爱旭太阳能科技有限公司 浙江爱旭太阳能科技有限公司 广东爱旭科技有限公司 天津爱旭太阳能科技有限公司 硅片切割方法、装置、设备及存储介质

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