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一种匀胶设备 

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申请/专利权人:山东劳动职业技术学院(山东劳动技师学院)

摘要:本发明公开了一种匀胶设备,包括机架、功能组件、空气过滤装置和电控系统,空气过滤装置设在机架的上部,机架中设有支撑部,功能组件设在支撑部上,功能组件包括设在机架中的用于上料的物料转运存储装置、匀胶装置、烘焙装置、在三维空间中移动的机械手传送装置、用于下料的物料转运存储装置,电控系统包括带有电源的总控制器,机械手传送装置上设有取料臂移动组件,在机械手传送装置的带动下,取料臂移动组件对功能组件进行匀胶工艺过程的连通。相比于现有技术的匀胶机,本装置的多个功能组件之间设置合理,各个功能组件配合方便,便于动作的连贯与流程化,自动化程度更高,工作流程中能对多个晶圆进行匀胶,适用于批量化生产。

主权项:1.一种匀胶设备,其特征在于,包括机架、功能组件、空气过滤装置和电控系统,所述空气过滤装置设在机架的上部,所述机架中设有支撑部,所述功能组件设在支撑部上,所述功能组件包括设在所述机架中的用于上料的物料转运存储装置、匀胶装置、烘焙装置、在三维空间中移动的机械手传送装置、用于下料的物料转运存储装置,所述电控系统包括带有电源的总控制器,所述机械手传送装置上设有取料臂移动组件,在所述机械手传送装置的带动下,所述取料臂移动组件对功能组件进行匀胶工艺过程的连通。

全文数据:

权利要求:

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