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申请/专利权人：东南大学
摘要：本发明公开了一种基于TEM的纳米摩擦学定量检测装置及检测方法，检测装置包括微悬臂梁，微悬臂梁的一端设置与其互相垂直的微悬臂梁针尖，另一端设置微悬臂梁基座；微悬臂梁针尖与样品的尖端相对正，与电子束互相垂直；样品与位移控制机构相连，微悬臂梁针尖与样品的尖端置于透射电子显微镜下通过实时采集图像观察其法向位移变化和横向位移变化。本发明通过改变微悬臂梁在TEM中的安装方式实现了法向和横向两个方向的协同测量，不仅可对摩擦界面的原子动态变化进行实时追踪，而且还能够使纳米摩擦过程中正压力和摩擦力的测量均达到纳牛精度，从而能够满足各种纳米摩擦、磨损以及超润滑实验的定量测量。
主权项：1.一种基于TEM的纳米摩擦学定量检测装置，其特征在于：包括微悬臂梁1，所述微悬臂梁1的一端设置与其互相垂直的微悬臂梁针尖2，另一端设置微悬臂梁基座3；所述微悬臂梁针尖2与样品4的尖端401相对正，与电子束5互相垂直；所述样品4与位移控制机构6相连，所述微悬臂梁针尖2与样品4的尖端401置于透射电子显微镜下通过实时采集图像观察其法向位移变化和横向位移变化。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东南大学 一种基于TEM的纳米摩擦学定量检测装置及检测方法
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