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申请/专利权人:苏州佑伦真空设备科技有限公司
摘要:本发明公开了一种多规格适配的蒸镀机坩埚气密性检漏机构,包括检漏装置;还包括:所述检漏装置内部检漏腔体的后方与左右两侧均等距离贯通连接于检漏连接管的外端;其中,检漏装置内部的检漏腔体中设置有定位机构,且定位机构包含有定位平台;其中,检漏装置内部的检漏腔体中设置有托举机构,且托举机构包含有托举底板,并且托举底板固定安装于检漏装置的内部底面中心位置处。该多规格适配的蒸镀机坩埚气密性检漏机构,通过检漏装置内部的检漏连接管适配不同规格型号的蒸镀机与坩埚,并通过托举机构带动蒸镀机下降至检漏腔体的内部下方之后,通过定位机构实现针对蒸镀机的限位固定,以便提升蒸镀机气密性检测的便捷性以及效率。
主权项:1.一种多规格适配的蒸镀机坩埚气密性检漏机构,包括检漏装置(1),以及开设于检漏装置(1)内部的检漏腔体(2),且检漏装置(1)的顶面后方铰接连接于密封盖板(3)的底端;其特征在于,还包括:所述检漏装置(1)内部检漏腔体(2)的后方与左右两侧均等距离贯通连接于检漏连接管(4)的外端,且通过等距离设置的检漏连接管(4)用于适配不同规格的蒸镀机坩埚的连接;其中,检漏装置(1)内部的检漏腔体(2)中设置有定位机构,且定位机构包含有定位平台(5),并且定位平台(5)的内部中心固定安装有定位支架(6);其中,检漏装置(1)内部的检漏腔体(2)中设置有托举机构,且托举机构包含有托举底板(7),并且托举底板(7)固定安装于检漏装置(1)的内部底面中心位置处。
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