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申请/专利权人：上欧科技(湖州)有限公司
摘要：一种MEMS芯片上电及缺陷检测设备及检测方法，属于MEMS芯片质量检测技术领域，本申请为了解决传统MEMS芯片质量检测效率差、人工成本高、检测过程中存在漏检以及二次损坏率高的问题，本申请所述一种MEMS芯片上电及缺陷检测设备包括设备平台、水平移动组件、上下移动组件、缺陷检测组件、探针组件；水平移动组件、上下移动组件安装在设备平台的顶部，缺陷检测组件、探针组件均安装在上下移动组件上，水平移动组件实现检测芯片在X轴方向和Y轴方向的水平移动以及Z轴方向的转动，上下移动组件作为动力源带动缺陷检测组件和探针组件实现Z轴方向移动。本申请主要用作对MEMS芯片上电及缺陷检测的装置。
主权项：1.一种MEMS芯片上电及缺陷检测设备，其特征在于：上电及缺陷检测设备包括设备平台1、水平移动组件2、上下移动组件3、缺陷检测组件4、探针组件5；水平移动组件2、上下移动组件3安装在设备平台1的顶部，缺陷检测组件4、探针组件5均安装在上下移动组件3上，水平移动组件2实现检测芯片在X轴方向和Y轴方向的水平移动以及Z轴方向的转动，上下移动组件3作为动力源带动缺陷检测组件4和探针组件5实现Z轴方向移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上欧科技(湖州)有限公司 一种MEMS芯片上电及缺陷检测设备及检测方法
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