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喷嘴板、液滴排出头、液滴排出装置及喷嘴板的制造方法 

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申请/专利权人:柯尼卡美能达株式会社

摘要:喷嘴板110在单晶硅基板B的第一面Ba具备多个形成有用于排出液滴的喷嘴N的喷嘴流路111,单晶硅基板B的第一面Ba和与第一面Ba对置的第二面Bb为{110}面。因此,第一面Ba侧的喷嘴流路111的开口部能够为大致平行四边形形状,能够提高喷嘴密度。

主权项:1.一种喷嘴板,在单晶硅基板具备多个用于从喷嘴排出液滴的贯通的喷嘴流路,其中,所述单晶硅基板的第一面和第二面是{110}面,所述第二面是与所述第一面对置的面并且是形成有所述喷嘴的面。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 柯尼卡美能达株式会社 喷嘴板、液滴排出头、液滴排出装置及喷嘴板的制造方法

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