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申请/专利权人：长光卫星技术股份有限公司
摘要：本发明涉及一种检测非球面面形和光学参数的装置和方法，涉及非球面反射镜检测技术领域，所述装置包括：干涉仪、CGH补偿器、待检镜、CGH调整机构、待检镜调整机构以及光栅尺；所述干涉仪、所述CGH补偿器以及所述待检镜光路连接；所述CGH调整机构上安装有所述CGH补偿器，用于调整所述CGH补偿器位置姿态；待检镜调整机构上安装有所述待检镜，用于调整待检镜的位置姿态；所述光栅尺用于监视所述待检镜的位移距离ΔL。本发明设计用于非球面面形检测的主检区和用于产生球面波束进行猫眼干涉的猫眼区，通过同一套装置同时测量非球面反射镜的面形和光学参数尤其是顶点曲率半径，提高检测效率。
主权项：1.一种检测非球面面形和光学参数的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1.设计CGH补偿器2的主检区8、猫眼区9以及对准区10；S2.搭建检测光路，利用对准区10将放置在台面的干涉仪1和安装在CGH调整机构4上的CGH补偿器2光路对准；S3.获取待检镜3面形：调整安装在待检镜调整机构5上的待检镜3的位置姿态，直至所述干涉仪1发出的球面波束经过所述主检区8入射所述待检镜3，通过所述待检镜3反射后光束经所述主检区8回到所述干涉仪1，与所述干涉仪1内部参考光束发生干涉，利用所述待检镜调整机构5调整待检镜3直至零条纹，获得用于描述待检镜3面形信息的干涉检测结果，并将此时光栅尺6读数归零；S4.调整安装在所述待检镜调整机构5上的所述待检镜3的位置姿态，直至所述干涉仪1发出的球面波束经过所述猫眼区9入射所述待检镜3，出射波前中心与所述待检镜3顶点重合，反射光束经猫眼区9回到所述干涉仪1，产生猫眼干涉；利用所述光栅尺6监视猫眼干涉时所述待检镜3的位移距离ΔL；S5.将获取的猫眼干涉时的测量位移结果ΔL带入顶点曲率半径R公式计算得到所述待检镜3的顶点曲率半径R。
全文数据：
权利要求：
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