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申请/专利权人：合肥开悦半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种多温区加热盘，包括由上至下依次叠加设置的蓄热板、上云母片、电热丝、下云母片和底板，所述电热丝包括若干组不同直径的同心方波波形电热丝，且若干组所述同心方波波形电热丝具有独立电源通路，各组电热丝可独立进行功率调节。同心方形波形曲线的圆频率越大，电热丝的密度越大，以上述频率变化规律为基础对加热的分布情况进行调节，使热板中心处的电热丝分布密度低，在边缘处的电热丝分布密度高，加热更加均匀，提高烘烤过程的效率与质量。
主权项：1.一种多温区加热盘，其特征在于：包括由上至下依次叠加设置的蓄热板、上云母片、电热丝、下云母片和底板，所述电热丝包括若干组不同直径的同心方波波形电热丝，且若干组所述同心方波波形电热丝具有独立电源通路，同心方波波形曲线的表达式为： 其中，r为基圆半径；h为波峰高度；ω为圆频率，即每个圆周上的波峰个数；θ为角度值，θ∈[0，2π]。
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权利要求：
百度查询： 合肥开悦半导体科技有限公司 一种多温区加热盘
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