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申请/专利权人：安泊智汇半导体设备(上海)有限公司
摘要：本发明提供了一种高压气体热处理装置，包括：内部中空的第一腔体；内部中空的第二腔体，第一腔体位于第二腔体内；内部中空的第三腔体，第二腔体位于第三腔体内，第三腔体与第二腔体相连通；第一供给组件，用于向第一腔体供给工艺气体；第二供给组件，用于向第二腔体和第三腔体供给工艺气体；第一腔体与第二腔体之间和或第一腔体与第三腔体之间通过管路连通，管路上设有调节组件，调节组件可调节气体从气压较高的腔体流入气压较低的腔体，以平衡压力。本发明中调节组件可自动检测并调节，无需复杂的控制电路，也不会受器件通讯故障的影响，即使其他元件出问题，也不会影响其工作，保障了压力平衡的稳定性和可靠性。
主权项：1.一种高压气体热处理装置，其特征在于，包括：第一腔体，内部中空且用于容纳待处理的半导体工件；第二腔体，内部中空，所述第一腔体位于所述第二腔体内且所述第一腔体和所述第二腔体之间具有第一间距；第三腔体，内部中空，所述第二腔体位于所述第三腔体内且所述第二腔体和所述第三腔体之间具有第二间距，所述第三腔体与所述第二腔体相连通；第一供给组件，用于向所述第一腔体供给工艺气体；第二供给组件，用于向所述第二腔体和所述第三腔体供给工艺气体；所述第一腔体与所述第二腔体之间和或所述第一腔体与所述第三腔体之间通过管路连通，所述管路上设有调节组件，所述调节组件用于检测所述管路两端腔体内的压力差值，当所述压力差值超过设定范围时，所述调节组件调节气体从气压较高的腔体流入气压较低的腔体，以平衡所述第一腔体内外侧的压力。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安泊智汇半导体设备(上海)有限公司 高压气体热处理装置
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