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申请/专利权人：九江德福科技股份有限公司;甘肃德福新材料有限公司

摘要：本发明公开了一种钛阴极辊筒的表面处理方法。属于电解铜箔技术领域，以解决现有技术中钛阴极辊筒表面处理方法中作为判断的粗糙度Ra指标单一，无法最大程度降低钛阴极辊筒辊面粗糙度、提升钛阴极辊筒辊面粗糙度均匀性、延长钛阴极辊筒的稳定生产时间的问题。方法包括抛光液的制备、钛阴极辊筒的预处理、化学机械抛光、化学机械抛光钛阴极辊筒的后处理。本发明相对于传统的表面处理工艺，降低钛阴极辊筒辊面粗糙度、提升钛阴极辊筒辊面粗糙度均匀性和延长钛阴极辊筒的稳定生产时间均有十分显著的提升作用，在生产中具有重要的经济意义。故本发明的应用具备相当可观的经济价值，推广前景优异。

主权项：1.一种钛阴极辊筒的表面处理方法，其特征在于：该方法为以下步骤：步骤A、钛阴极辊筒机械抛磨预处理；使用行车将需要表面处理的钛阴极辊筒吊装至磨床，设定抛磨盘上砂轮的转速、气缸压力和横向移动速度，分别开启砂轮和钛阴极辊筒的旋转电机，对钛阴极辊筒的辊面进行机械抛磨预处理；步骤B、钛阴极辊筒化学机械抛光；将机械抛磨的砂轮替换成对称分布于阴极辊水平直径两侧的抛光盘，设定抛光液喷嘴的流量、阴极辊转动速度后开始对钛阴极辊筒进行化学机械抛光处理；这一步骤中用到的抛光液由纳米研磨材料、蚀刻剂、pH调节剂、表面活性剂和去离子水组成；所述抛光液中纳米研磨材料为胶体三氧化铝Al2O3、胶体二氧化硅SiO2、氮化硅Si3N4或氧化铈CeO2中的一种或几种；抛光液中纳米研磨材料的质量浓度在1wt%-4wt%之间；所述抛光液中蚀刻剂为乳酸、氯代乙酸、双氧水、氢氟酸、乙二酸、柠檬酸、乙二胺四乙酸-2钠EDTA-2Na中的两种或几种；抛光液中蚀刻剂的质量浓度在5wt%-10wt%之间；所述抛光液中pH调节剂将抛光液的pH值调节在3-5之间；所述抛光液中表面活性剂为十二烷基苯磺酸钠、十二烷基硫酸钠、十六烷基三甲基溴化铵、聚乙烯吡咯烷酮、聚乙二醇中的一种或几种；抛光液中表面活性剂的质量浓度在0.01wt%-0.1wt%之间；步骤C、抛光后钛阴极辊筒的阳极氧化处理；1.使用去离子水去除化学机械抛光处理结束后钛阴极辊筒辊面残留的杂质；2.借助压缩空气吹干钛阴极辊筒表面残余的水分；3.以金属钛板为阴极、抛光后的钛阴极辊筒为阳极、含氟化铵的去离子水-乙二醇溶液为电解质，在一定的电压下进行阳极氧化处理，在钛阴极辊筒的辊面生成一层薄而致密的保护层。

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