买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：FOGALE纳米技术公司

摘要：本发明涉及一种用于测量物体100的表面的设备1000、2000、3000、4000、5000、6000，该设备包括：‑至少一个光源112、212、320、520；‑至少一个光学传感器102、202、624；以及‑干涉测量装置，其具有测量臂和参考臂，该测量臂被配置成通过光学聚焦系统107、207将来自至少一个光源112、212、320、520的光朝向物体的待测量表面引导，并将来自待测量表面的光朝向至少一个光学传感器102、202、624引导；根据被称为干涉测量配置的第一配置，测量设备被配置为用至少一个光源112、212、320、520照射参考臂和测量臂，并将来自测量臂和参考臂的光朝向至少一个光学传感器102、202、624引导，以便形成干涉信号；根据被称为成像配置的第二配置，测量设备被配置为至少照射测量臂，并仅将来自测量臂的光朝向至少一个光学传感器102、202、624引导，以便形成待测量表面的图像；测量设备还包括数字处理单元，所述数字处理单元被配置为根据干涉信号和图像产生关于待测量表面的信息。本发明还涉及一种测量物体100的表面的方法10。

主权项：1.一种用于测量物体（100）的表面的测量设备（1000、2000、3000、4000、5000、6000），所述测量设备包括：-至少一个光源（112、212、320、520）；-一个光学传感器或多个光学传感器（102、202、624）；以及-干涉测量装置，其具有测量臂和参考臂，所述测量臂被配置成通过聚焦光学系统（107、207）将来自所述至少一个光源（112、212、320、520）的光朝向物体的待测量表面引导，并且将来自待测量表面的光朝向所述一个光学传感器或多个光学传感器（102、202、624）引导；在被称为干涉测量配置的第一配置中，所述测量设备被配置为用所述至少一个光源（112、212、320、520）照射参考臂和测量臂，并且将来自测量臂和参考臂的光朝向所述多个光学传感器（102、202、624）中的至少一个光学传感器引导，以便形成干涉信号；在被称为成像配置的第二配置中，所述测量设备被配置为至少照射测量臂，并且仅将来自测量臂的光朝向所述多个光学传感器（102、202、624）中的光学传感器引导，以便形成待测量表面的图像；所述测量设备还包括：用于基于在所述成像配置中对待测量表面的测量确定所述待测量表面相对于所述至少一个光学传感器的共轭物体平面的位置的单元；数字处理单元，所述数字处理单元被配置为基于干涉信号产生关于待测量表面的信息，在基于干涉信号产生关于待测量表面的信息期间，考虑到所述待测量表面相对于所述至少一个光学传感器的共轭物体平面的所述位置，使得能够对所述表面进行无误差测量和或验证该测量不包括由于所述至少一个光学传感器的共轭物体平面与所述待测量表面之间的光传播的影响而产生的任何误差。

全文数据：

权利要求：

百度查询： FOGALE纳米技术公司 用于成像和干涉测量的设备和方法