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光干涉测量装置 

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申请/专利权人:松下知识产权经营株式会社

摘要:在由光梳产生滤波器(205)调整成等频率间隔后的光被入射并从测定头(207)照射到测定对象(W)时,通过光分割单元(208)来将由光梳产生滤波器(205)调整成等频率间隔后的光分割为测定光和参照光,通过干涉光检测单元(210)来对将测定光的来自测定对象(W)的反射光和参照光合波后的干涉光进行检测。

主权项:1.一种光干涉测量装置,具备:低相干光源,射出低相干光;光梳产生滤波器,将从所述低相干光源射出的所述光调整成等间隔的光频率分布;光分割单元,将由所述光梳产生滤波器调整成等频率间隔的光分割为测定光和参照光;和干涉光检测单元,对将来自所述测定对象的反射光和所述参照光合波后的干涉光进行检测,将从作为所述测定光的信号光的信号光路长度与所述参照光的参照光路长度一致的零点到所述测定对象为止的距离设为:从成为将光速乘以所述光梳产生滤波器的模式间隔的倒数后的值的整数倍的值减去根据所述干涉光检测单元的光频率分辨率决定的可测定范围而得到的距离,到对所述值加上所述可测定范围后的距离为止的范围内。

全文数据:

权利要求:

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