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部件的驱动方法和处理装置 

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申请/专利权人:东京毅力科创株式会社

摘要:本发明提供一种能够更准确地驱动部件的部件的驱动方法。本发明提供一种设置于处理室内的部件的驱动方法,其包括:对上述部件照射具有能够透过上述部件的波长的测量光的步骤;基于来自上述部件的正面的反射光和来自上述部件的背面的反射光,来检测反射光的强度分布的步骤;对表示上述强度分布的光谱进行傅里叶变换来计算光程差的步骤;基于上述光程差来决定上述部件的驱动量的步骤;和基于决定出的上述驱动量驱动上述部件的步骤。

主权项:1.一种处理装置,其特征在于,包括:处理容器;设置于所述处理容器内,载置基板的载置台;环状的由硅形成的边缘环,其以包围载置于所述载置台的基板的方式在被分割为多个,被分割为内侧边缘环和外侧边缘环,或者被分割为内侧边缘环、中央边缘环和外侧边缘环;驱动部,其驱动所述被分割为多个的边缘环中的至少任一者;和控制部,所述控制部能够执行以下处理:对所述被分割为多个的边缘环中的至少任一者,照射具有能够透过所述被分割为多个的边缘环的波长的测量光的处理;基于来自所述边缘环的正面的反射光和来自所述边缘环的背面的反射光来检测反射光的强度分布的处理;对表示所述强度分布的光谱进行傅里叶变换来计算光程差的处理;基于所述光程差来决定所述被分割为多个的边缘环中的至少任一者的驱动量的处理;和基于决定出的所述驱动量来驱动所述被分割为多个的边缘环中的至少任一者的处理。

全文数据:

权利要求:

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