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申请/专利权人：中国有研科技集团有限公司
摘要：本发明公开了一种氮氧检测传感器芯片。该传感器芯片由四层基片叠压而成，从下至上依次包括第一层基片、第二层基片、第三层基片、第四层基片，四层基片材料均为氧化锆；第一层基片表面印刷有蛇形加热电极；在第二层基片底部印刷有覆盖加热电极的绝缘层，在顶部测试端印刷有电容电极+；第三层基片中依次包括第一扩散障、第一空腔、第二扩散障、第二空腔；在第四层基片底部对应于第一空腔的位置印刷有电容电极‑，在对应于第二空腔位置印刷有测试电极‑；在第四层基片顶部印刷测试电极+，该测试电极+顶部覆盖有多孔保护层。本发明简化了氮氧检测传感器芯片的结构，优化了测试回路，避免了贵金属Au的使用。
主权项：1.一种氮氧检测传感器芯片，其特征在于，该传感器芯片由四层基片叠压而成，从下至上依次包括第一层基片、第二层基片、第三层基片、第四层基片，四层基片材料均为氧化锆；所述第一层基片为基底基片，表面印刷有蛇形加热电极；在所述第二层基片底部印刷有绝缘层，绝缘层覆盖所述加热电极，在所述第二层基片顶部测试端印刷有电容电极+；所述第三层基片中依次包括第一扩散障、第一空腔、第二扩散障、第二空腔，用于形成气体扩散通道；在所述第四层基片底部对应于第一空腔的位置印刷有电容电极-，在所述第四层基片底部对应于第二空腔位置印刷有测试电极-，在所述第四层基片顶部印刷测试电极+，该测试电极+顶部覆盖有多孔保护层；所述第二层基片顶部电容电极+设置在第一空腔底部，电极材料为Pt；所述第四层基片底部电容电极-与第四层基片之间印刷有电极绝缘层，电容电极-材料为Pt，测试电极-材料为Pt60-95％、Rh5～40％；电极绝缘层为致密氧化铝；所述第四层基片顶部测试电极+材料为Pt，保护层材料为多孔氧化铝。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国有研科技集团有限公司 一种氮氧检测传感器芯片
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