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申请/专利权人：上海亚曼光电科技有限公司
摘要：本实用新型涉及光刻机辅助调平领域，尤其涉及一种光刻机安装用辅助调平装置。包括底板，所述底板的上表面安装有移动组件，所述移动组件的一端安装有加工物镜，所述底板的一侧设置有机体，所述机体靠近底板的一侧设有辅助结构，所述辅助结构包括两个滑轨，两个所述滑轨与机体固定连接，所述滑轨的内壁滑动连接有滑块，所述滑块靠近底板的一侧固定连接有延长板，所述延长板与底板固定连接，两个所述滑块相互远离的一侧均固定连接有连接板，所述连接板的内壁螺纹连接有螺杆，所述螺杆与滑块相抵接。本实用新型提供的一种光刻机安装用辅助调平装置具有可以方便对底板进行辅助安装，以及对底板进行调平的优点。
主权项：1.一种光刻机安装用辅助调平装置，其特征在于，包括：底板（1），所述底板（1）的上表面安装有移动组件（2），所述移动组件（2）的一端安装有加工物镜（4），所述底板（1）的一侧设置有机体（3），所述机体（3）靠近底板（1）的一侧设有辅助结构（5），所述辅助结构（5）包括两个滑轨（501），两个所述滑轨（501）与机体（3）固定连接，所述滑轨（501）的内壁滑动连接有滑块（507），所述滑块（507）靠近底板（1）的一侧固定连接有延长板（502），所述延长板（502）与底板（1）固定连接，两个所述滑块（507）相互远离的一侧均固定连接有连接板（509），所述连接板（509）的内壁螺纹连接有螺杆（510），所述螺杆（510）与滑块（507）相抵接，所述底板（1）远离滑轨（501）一侧的下表面固定连接有套杆（503），所述套杆（503）的下端转动连接有螺纹环（504），所述套杆（503）的内壁滑动连接有丝杆（511），所述丝杆（511）与螺纹环（504）螺纹连接，所述丝杆（511）的下端固定连接有支撑板（505）。
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权利要求：
百度查询： 上海亚曼光电科技有限公司 一种光刻机安装用辅助调平装置
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