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申请/专利权人：浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要：一种用于洗净机上并具有彻底清洁的喷头，包括中间为废水回收管道以及呈环状环绕在废水回收管道顶部进口处的废水收集面，废水收集面从外周向中心从上至下倾斜，废水收集面上间隔分布有若干个用于定向输送清洗材料的清洗通道，清洗通道的出口方向均朝向废水回收管道中心倾斜，清洗通道的出口上设有凸起于废水收集面用于对清洗通道出口进行遮挡的遮挡部；设有若干个设置在废水收集面上的清洗通道，并且废水收集面呈倾斜设置，进而使得掉落在废水收集面上的清洗材料可以快速的在废水收集面引导下向废水回收管道流动，同时清洗通道的出口方向向废水回收管道中心倾斜设置使得清洗通道内的清洗材料可以定向的向晶圆喷出。
主权项：1.一种用于洗净机上并具有彻底清洁的喷头，其特征是：包括中间为废水回收管道（1）以及呈环状环绕在废水回收管道（1）顶部进口处的废水收集面（2），废水收集面（2）从外周向中心从上至下倾斜，所述废水收集面（2）上间隔分布有若干个用于定向输送清洗材料的清洗通道（3），清洗通道（3）的出口方向均朝向废水回收管道（1）中心倾斜，清洗通道（3）的出口上设有凸起于废水收集面（2）用于对清洗通道（3）出口进行遮挡的遮挡部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司 一种用于洗净机上并具有彻底清洁的喷头
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