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申请/专利权人：太原科技大学;朔州市平鲁区产业研究院
摘要：本发明公开一种超窄带滤波器及其制备方法，涉及光电子元器件技术领域，包括：基底层；光栅层铺设于基底层上；光栅层包括硅基波导层和在硅基波导层上堆叠的两个周期相同、填充因子不同的亚波长光栅；透明覆盖层沉积于光栅层表面；硅基波导层的折射率大于入射覆盖层折射率和基底层折射率；其中，将偏振光垂直入射到堆叠的亚波长光栅顶部，通过调节底部光栅的厚度和填充因子，激发多波导模式的非对称共振耦合，获得电场增强因子，从而实现超窄滤波。
主权项：1.一种超窄带滤波器，其特征在于，包括：基底层；光栅层，铺设于所述基底层上；所述光栅层包括硅基波导层和在所述硅基波导层上堆叠的两个周期相同、填充因子不同的亚波长光栅；透明覆盖层，沉积于所述光栅层表面；入射透明覆盖层和基底层的折射率低于硅基波导层；其中，将偏振光垂直入射到堆叠的亚波长光栅顶部，通过调节与所述硅基波导层接触的亚波长光栅厚度来影响导模共振的波长变化，以及通过调节其填充因子来改变亚波长光栅反射特性的强度和宽度，进而激发出多波导模式的非对称共振耦合模式，通过非对称共振耦合模式增强电场与介质间的相互作用来获得电场增强因子，从而实现超窄带滤波。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 太原科技大学 朔州市平鲁区产业研究院 一种超窄带滤波器及其制备方法
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