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申请/专利权人：启元实验室
摘要：本发明公开了一种超表面器件制备测试一体化系统、超表面器件制备方法及电子设备，属于超表面器件制备技术领域，该系统包括激光直写模块、检测光源模块和功能测试收集模块；激光直写模块用于基于超表面器件的直写版图向样品发射直写激光；检测光源模块用于基于超表面器件的功能向样品发射检测光；功能测试收集模块用于基于透过样品的检测光获取样品参数，并基于样品参数调整激光直写模块的直写参数。该系统将超表面器件的功能测试和激光直写融为一体，可在激光直写超表面初步加工完成后，进行原位功能测试，测试结果反馈给激光直写模块，对样品进行快速的加工迭代，能够显著优化超表面器件的性能。
主权项：1.一种超表面器件制备测试一体化系统，其特征在于，包括激光直写模块101、检测光源模块102和功能测试收集模块103；所述激光直写模块101用于基于超表面器件的直写版图向样品发射直写激光；所述检测光源模块102用于基于所述超表面器件的功能向所述样品发射检测光；所述功能测试收集模块103用于基于透过所述样品的所述检测光获取样品参数，并基于所述样品参数调整所述激光直写模块101的直写参数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 启元实验室 超表面器件制备测试一体化系统、超表面器件制备方法
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