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申请/专利权人：上海裕达实业有限公司
摘要：本发明提供了一种基于MEMS的质谱仪装置及工作方法，包括：装置本体；装置本体包括多个质谱仪系统，多个质谱仪系统围绕同一离子源分布；每个质谱仪系统均包括离子传输装置、质量分析器装置、离子检测装置以及信号传输装置，离子源处的离子通过多个离子传输装置同时分别传输至多个质量分析器装置，离子经质量分析器装置分析后传送至离子检测装置检测，离子检测装置检测的信号通过信号传输装置对外输出。本申请通过设置不同质量分析器装置的起始扫描质量来扩充质量范围，不同质谱仪系统内的离子检测装置获得的信号叠加处理后作为质谱测试结果，避免了顺序操作下，在时间上的离子损失，扩展了质谱仪系统的质量范围，还可以有效消除质量歧视效应。
主权项：1.一种基于MEMS的质谱仪装置，其特征在于，包括：装置本体100；所述装置本体100包括多个质谱仪系统，多个所述质谱仪系统围绕同一离子源分布；每个所述质谱仪系统均包括离子传输装置、质量分析器装置、离子检测装置以及信号传输装置，离子源处的离子通过多个所述离子传输装置同时分别传输至多个所述质量分析器装置，离子经所述质量分析器装置分析后传送至所述离子检测装置检测，所述离子检测装置检测的信号通过所述信号传输装置对外输出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海裕达实业有限公司 基于MEMS的质谱仪装置及工作方法
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