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申请/专利权人：浙江大学
摘要：本发明公开了一种级联滤波型高分辨率大工作窗口光谱传感器。本发明采用欧拉波导微环谐振器作为精密滤波器，欧拉波导微环谐振器采用欧拉曲线环形波导，并覆盖有微型加热器，实现谐振波长的热调谐。再级联多个单通道多模波导布拉格光栅带通滤波器，确保各通道间的低串扰和高灵敏度检测。光谱传感器与片上光电探测器通过半导体工艺集成在同一衬底上。本发明解决了现有技术中的分辨率和工作波段限制问题，实现结构紧凑、易于集成和制造的优点。
主权项：1.一种级联滤波型高分辨率大工作窗口光谱传感器，其特征在于，包括欧拉波导微环谐振器、多通道多模波导布拉格光栅带通滤波器，欧拉波导微环谐振器的输入端作为多光谱的输入端，欧拉波导微环谐振器与多通道多模波导布拉格光栅带通滤波器的输入端相连，多通道多模波导布拉格光栅带通滤波器设置有多个输出端口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大学 一种级联滤波型高分辨率大工作窗口光谱传感器
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