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申请/专利权人：台湾中华精测科技股份有限公司

摘要：本发明公开一种探针卡装置及其隧道式探针。所述隧道式探针包含一管体、一弹性件及一针体。所述弹性件安装于所述管体之内。所述针体可移动地贯穿所述管体、并通过连接于所述弹性件而电性耦接于所述管体。所述针体具有一内置段及相连于所述内置段相反两端的一外接段与一限位段。所述内置段位于所述管体内且连接于所述弹性件。所述外接段与所述限位段分别位于所述管体的相反两外侧。当所述隧道式探针以所述外接段抵顶于一待测物时，所述针体朝向远离所述待测物的方向移动，以使所述弹性件受到所述针体的压迫而形变蓄有一弹性力。据此，所述隧道式探针通过各个组件之间的结构搭配，以利于降低制造困难度与维修复杂度。

主权项：1.一种探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置包括：一第一导板单元与一第二导板单元，其沿一厚度方向对应于所述第一导板单元且彼此呈间隔地设置；多个导电探针，安装于所述第一导板单元与所述第二导板单元，并且每个所述导电探针包含：一传输段，其两端部分别位于所述第一导板单元与所述第二导板单元之内；一测试段，自所述传输段的其中一个所述端部延伸穿出所述第一导板单元；及一转接段，自所述传输段的其中另一个所述端部延伸穿出所述第二导板单元；以及多个隧道式探针，安装于所述第一导板单元，并且每个所述隧道式探针包含有：一管体，穿设且固定于所述第一导板单元；其中，所述管体形成有一活动通道及分别位于所述活动通道两端的一第一管口与一第二管口；一弹性件，安装于所述管体且位于所述活动通道之内；及一针体，可移动地贯穿所述活动通道，并且所述针体通过连接于所述弹性件而电性耦接于所述管体；其中，所述针体具有：一内置段，位于所述活动通道内且连接于所述弹性件；一外接段，相连于所述内置段的一端且位于所述第一管口的外侧；及一限位段，相连于所述内置段的另一端，所述限位段位于所述第二管口的外侧并抵顶于所述管体；其中，当每个所述隧道式探针的所述针体以所述外接段抵顶于一待测物时，所述针体朝向远离所述待测物的方向移动，以使所述外接段的局部通过所述第一管口缩入所述活动通道，而所述内置段的局部通过所述第二管口穿出所述活动通道，所述限位段离开所述管体，并且所述弹性件受到所述针体的压迫而形变蓄有一弹性力。

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