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申请/专利权人：夏泰鑫半导体(青岛)有限公司
摘要：本发明提供一种粉末收集系统，包括处理室、第一粉末捕集装置和真空泵，所述第一粉末捕集装置与所述处理室连通；所述真空泵与所述第一粉末捕集装置连通；所述第一粉末捕集装置包括内腔和多个隔板，所述多个隔板垂直交错设置在所述内腔内，用于将所述内腔分割成多个相互连通的区域，形成与所述内腔的进气端和出气端连通的通道，所述通道包括并联设置的第一气流通道和第二气流通道，所述内腔的进气端与所述处理室连通，所述内腔的出气端与所述真空泵连通；所述粉末收集系统还包括检测器，设置在所述内腔的出气端，用于检测气流大小，并根据检测结果判断所述第一粉末捕集装置是否需要清理。
主权项：1.一种粉末收集系统，包括：处理室，半导体晶圆放置在所述处理室内；第一粉末捕集装置，与所述处理室连通；和真空泵，与所述第一粉末捕集装置连通，用于抽气以使粉末流入所述第一粉末捕集装置；其特征在于，所述第一粉末捕集装置包括内腔和多个隔板，所述多个隔板垂直交错设置在所述内腔内，用于将所述内腔分割成多个相互连通的区域，形成与所述内腔的进气端和出气端连通的通道，所述通道包括并联设置的第一气流通道和第二气流通道，所述内腔的进气端与所述处理室连通，所述内腔的出气端与所述真空泵连通；所述粉末收集系统还包括检测器，设置在所述内腔的出气端，用于检测气流大小，并根据检测结果判断所述第一粉末捕集装置是否需要清理，所述隔板由磁性材料制成，用于吸附气体中的磁性颗粒或金属颗粒；所述粉末收集系统还包括冷却装置和等离子发生器，所述冷却装置设置在所述第一粉末捕集装置底部，用于冷却所述第一粉末捕集装置，以降低颗粒的动能并吸引颗粒沉积在所述第一粉末捕集装置内，所述等离子发生器设置在在所述第一粉末捕集装置与所述处理室之间，用于部分消除从所述处理室流出的气体中的颗粒。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 夏泰鑫半导体(青岛)有限公司 粉末收集系统
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