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申请/专利权人：西安理工大学
摘要：本发明公开了具有特定织构的纯钛溅射靶材，该靶材的最紧密堆积面平面织构化，并且减少了粗糙平面的占比，最紧密堆积面与粗糙平面的比值在19以上。本发明还公开了上述靶材的制备方法，采用特定的轧制工艺，各道次的单道次加工率相互配合，相互协同，达到了最优的效果。本发明方法可以获得细小且均匀的晶粒，这样可以降低颗粒的产生，提高溅射镀膜的均匀性。
主权项：1.具有特定织构的纯钛溅射靶材的制备方法，其特征在于，具体按照以下步骤实施：步骤1、对纯钛铸锭进行锻造，得到纯钛棒材；步骤2、将步骤1处理后的纯钛棒材加热至890℃-1010℃，保温2h-8h；步骤3、将步骤2处理后的纯钛棒材进行轧制，轧制四道次；步骤4、将步骤3处理后的纯钛棒材在890℃-1010℃保温2h-8h，继续进行轧制，轧制两道次；步骤5、将步骤4处理后的纯钛棒材在890℃-1010℃保温2h-8h，继续进行轧制，轧制三道次，得到纯钛溅射靶材；步骤3中，第一道次的单道次加工率为40%-60%，第二道次的单道次加工率为40%-60%，第三道次的单道次加工率为20%-30%，第四道次的单道次加工率为30%-35%；步骤4中，第一道次单道次加工率为35%-45%，第二道次单道次加工率为35%-45%；步骤5中，第一道次的单道次加工率为30%-35%，第二道次的单道次加工率为30%-35%，最后一道次的单道次加工率小于20%。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安理工大学 具有特定织构的纯钛溅射靶材及其制备方法
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