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申请/专利权人：武汉衍熙微器件有限公司

摘要：本发明提供一种体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器，包括由下到上依次设置的基底、底电极、压电层和顶电极，基底与底电极之间形成第一反射层，从而构成体声波谐振器；在同一压电层上形成叉指电极，基底与压电层之间形成第二反射层，从而构成表面声波谐振器。本发明通过整合工艺，直接在同一压电层上形成体声波谐振器的顶电极和表面声波谐振器的叉指电极，缩减了工艺流程，避免原工艺中出现的压电基板破裂或严重翘曲现象，同时能够通过调节表面声波谐振器的参数，达到抑制体声波谐振器的横向寄生模态和抑制声波倍频的功效。

主权项：1.一种体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器，其特征在于：它包括：由下到上依次设置的基底、底电极、压电层和顶电极，基底与底电极之间形成第一反射层，从而构成体声波谐振器；在同一压电层上形成叉指电极，基底与压电层之间形成第二反射层，从而构成表面声波谐振器；所述的表面声波谐振器中，压电层直接在基底上形成；所述的第一反射层和第二反射层均为整体在基底平面上方凸起的空气腔，使得位于第一反射层和第二反射层之间的压电层厚度大于位于第一反射层和第二反射层上方的压电层厚度。

全文数据：一种体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器技术领域[0001]本发明属于谐振器领域，具体涉及一种体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器。背景技术[0002]随着通讯频段的演进，其所需求的频率越来越高，在高频率的需求下，其谐振器需要提供更好的Q值才能减少滤波器的损耗，得到一具更高质量的滤波响应。[0003]各种抑制横向寄生的模态方式众多，传统的整合薄膜体声波谐振器简称BAW与表面声波谐振器简称SAW的工艺，利用声波基底当作BAW器件的压电层，整合SAW器件于相同基底上，但往往会因为工艺中高温度环境，导致压电基底例如:LiTa03破裂或严重翘曲现象。发明内容[0004]本发明要解决的技术问题是:提供一种体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器（HybridAcousticWaveResonator,HAWResonator，实现了工艺的整合，避免原工艺中出现的压电基底破裂或严重翘曲现象，同时能够通过调节表面声波谐振器的参数，达到抑制体声波谐振器的横向寄生模态和抑制声波倍频的功效。[0005]本发明为解决上述技术问题所采取的技术方案为:一种体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器，其特征在于:它包括：由下到上依次设置的基底、底电极、压电层和顶电极，基底与底电极之间形成第一反射层，从而构成体声波谐振器;在同一压电层上形成叉指电极，基底与压电层之间形成第二反射层，从而构成表面声波谐振器。[0006]按上述方案，所述的第一反射层为凸起的空气腔、在基底上刻蚀孔洞形成的空气腔或由高声阻与低声阻材料交叠形成的布拉格反射镜。[0007]按上述方案，所述的第二反射层为凸起的空气腔、在基底上刻蚀孔洞形成的空气腔或由高声阻与低声阻材料交叠形成的布拉格反射镜。[0008]按上述方案，所述的表面声波谐振器中，压电层直接在基底上形成;所述的底电极只存在于所述的体声波谐振器中。[0009]按上述方案，所述的压电层为具有压电特性的材料。[0010]按上述方案，所述的具有压电特性的材料为AlN、AlScN、Zn0、PZT、BST、LiN03、LiTa03中的一种。[0011]本发明的有益效果为:通过整合工艺，直接在同一压电层上形成体声波谐振器的顶电极和表面声波谐振器的叉指电极，缩减了工艺流程，避免原工艺中出现的压电基底破裂或严重翘曲现象，同时能够通过调节表面声波谐振器的参数，达到抑制体声波谐振器的横向寄生模态和抑制声波倍频的功效。附图说明[0012]图1为本发明实施例一的结构示意图。[0013]图2为本发明实施例二的结构示意图。[0014]图3为本发明实施例三的结构示意图。[0015]图中：101_顶电极，102-压电层，103-底电极，1041-第一空气腔，1〇42_第二空气腔，105-基底，106-叉指电极；201-顶电极，202-压电层，203-底电极，2041-第一空气腔，2042-第二空气腔，205-基底，206-叉指电极;301-顶电极，302-压电层，3〇3_底电极，305-基底，306-叉指电极，307-布拉格反射镜。具体实施方式[0016]下面结合具体实例和附图对本发明做进一步说明。[0017]实施例一：本实施例提供一种体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器，如图1所示，它包括：由下到上依次设置的基底105、底电极103、压电层102和顶电极101，基底105与底电极103之间形成第一空气腔1041，从而构成体声波谐振器;在同一压电层102上形成叉指电极106,基底105与压电层102之间形成第二空气腔1042,从而构成表面声波谐振器。叉指电极106是如指状或梳状的面内有周期性图案的电极。[0018]所述的第一空气腔1041和第二空气腔1042均为凸起的空气腔，也可以是不同反射界面的组合。[0019]优选的，所述的表面声波谐振器中，压电层102直接在基底105上形成;所述的底电极103只存在于所述的体声波谐振器中。[0020]所述的压电层102可由具有压电特性的材料所构成，例如:AlN、AlScN、ZnO、PZT、BST、LiN03、LiTa03等;也可以为参杂形成具有压电特性的材料。[0021]实施例二：本实施例提供一种体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器，如图2所示，它包括：由下到上依次设置的基底205、底电极203、压电层202和顶电极201，基底205与底电极203之间形成第一空气腔2041，从而构成体声波谐振器;在同一压电层202上形成叉指电极206,基底205与压电层202之间形成第二空气腔2042,从而构成表面声波谐振器。叉指电极206是如指状或梳状的面内有周期性图案的电极。[0022]所述的第一空气腔2041和第二空气腔2042均为在基底上刻蚀孔洞形成的空气腔，也可以是不同反射界面的组合。[0023]优选的，所述的表面声波谐振器中，压电层202直接在基底205上形成;所述的底电极203只存在于所述的体声波谐振器中。[0024]所述的压电层202可由具有压电特性的材料所构成，例如:AlN、AlScN、ZnO、PZT、BST、LiN〇3、LiTa〇3等;也可以为参杂形成具有压电特性的材料。[0025]实施例三：本实施例提供一种体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器，如图3所示，它包括：由下到上依次设置的基底305、底电极303、压电层302和顶电极301，基底305与底电极3〇3之间形成由高声阻与低声阻材料交叠形成的布拉格反射镜307,从而构成体声波谐振器;在同一压电层302上形成叉指电极3〇6,从而构成表面声波谐振器。叉指电极306是如指状或k状的面内有周期性图案的电极。[0026]在本实施例中，第一反射层和第二反射层可融为一体，即只需要一个由高声阻与低声阻材料交叠形成的布拉格反射镜3〇7,也可以是不同反射界面的组合。[0027]所述的压电层302可由具有压电特性的材料所构成，例如:AIN、A1ScN、ZnO、PZT、831'、1^奶3、1^1'£1〇3等;也可以为参杂形成具有压电特性的材料。[0028]优选的，所述的表面声波谐振器中，压电层302直接在布拉格反射镜307上形成;所述的底电极303只存在于所述的体声波谐振器中。[0029]以上实施例仅用于说明本发明的设计思想和特点，其目的在于使本领域内的技术人员能够了解本发明的内容并据以实施，本发明的保护范围不限于上述实施例。所以，凡依据本发明所揭示的原理、设计思路所作的等同变化或修饰，均在本发明的保护范围之内。

权利要求：1.一种体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器，其特征在于：它包括：由下到上依次设置的基底、底电极、压电层和顶电极，基底与底电极之间形成第一反射层，从而构成体声波谐振器;在同一压电层上形成叉指电极，基底与压电层之间形成第二反射层，从而构成表面声波谐振器。2.根据权利要求1所述的体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器，其特征在于:所述的第一反射层为凸起的空气腔、在基底上刻蚀孔洞形成的空气腔或由高声阻与低声阻材料交叠形成的布拉格反射镜。3.根据权利要求1所述的体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器，其特征在于:所述的第二反射层为凸起的空气腔、在基底上刻蚀孔洞形成的空气腔或由高声阻与低声阻材料交叠形成的布拉格反射镜。4.根据权利要求1所述的体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器，其特征在于:所述的表面声波谐振器中，压电层直接在基底上形成;所述的底电极只存在于所述的体声波谐振器中。5.根据权利要求1至4中任意一项所述的体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器，其特征在于:所述的压电层为具有压电特性的材料。6•根据权利要求5所述的体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器，其特征在于:所述的具有压电特性的材料为△1比415〇比211〇、？21'、831'、1^撕3、1^1〇3中的一种。

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