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申请/专利权人：住友重机械工业株式会社
摘要：本发明的目的在于提供一种能够实现小型化及低成本化的粒子束装置。粒子束装置1具备偏转电磁体15，该偏转电磁体15能够导入来自离子种类互不相同的第1离子源11及第2离子源12的各离子束B1、B2，且能够通过切换磁场强度将离子束B1、B2中的一个选择性地射出至射束传输系统19，偏转电磁体15具有：偏转功能，使应该射出至射束传输系统19的离子束向射束传输系统19偏转；及分析功能，减少混合在该离子束中的不同种类的射束朝射束传输系统19的射出。
主权项：1.一种粒子束装置，其中，其具备电磁体，所述电磁体能够导入来自离子种类互不相同的多个离子源的各离子束，且能够通过切换磁场强度将所述离子束中的一个选择性地射出至下游侧的装置，所述电磁体具有：偏转功能，使应该射出至所述下游侧的装置的所述离子束向所述下游侧的装置偏转；及分析功能，通过借助设定所述电磁体的磁场强度而使混合在该离子束中的不同种类的射束以与该离子束不同的曲率弯曲来减少混合在该离子束中的所述不同种类的射束朝所述下游侧的装置的射出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 住友重机械工业株式会社 粒子束装置
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