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申请/专利权人：西北工业大学
摘要：本发明一种微振镜结构及提高最大偏转角的方法，属于微机电系统领域；该结构包括反射镜及位于其背面的偏转角调节模块，通过偏转角调节模块调节反射镜的偏转角度；偏转角调节模块包括电驱动结构、铰接结构及支撑结构，所述电驱动结构与反射镜背面的边缘相对，铰接结构耦合于反射镜背面，支撑结构位于电驱动结构、铰接结构之间；通过电驱动结构向反射镜的一侧边缘施加吸力，反射镜向吸力侧偏转，铰接结构发生形变并产生与吸力反向的被动力，进一步在支撑结构的作用下，铰接结构发生形变与被动力反转，将反射镜绕支撑结构继续向吸力侧偏转，以增大偏转角。本发明解决了现有技术中微米级扭转微镜无法增加偏转角的同时消除pull‑in现象的问题。
主权项：1.一种微振镜结构，其特征在于：包括反射镜1及位于其背面的偏转角调节模块，通过偏转角调节模块调节反射镜1的偏转角度；所述偏转角调节模块包括电驱动结构2、铰接结构3及支撑结构4，所述电驱动结构2与反射镜1背面的边缘相对，铰接结构3耦合于反射镜1背面，支撑结构4位于电驱动结构2、铰接结构3之间；所述电驱动结构2用于向所述反射镜1的一侧边缘施加吸力并驱动所述反射镜1垂直平动和绕轴转动；所述铰接结构3位于所述电驱动结构2的上方；所述铰接结构3存在柔性区域，用于限制所述反射镜1的自由度；所述铰接结构3通过增加柔性区域的面积降低刚度，产生弯曲和扭转变形，并产生被动力；所述反射镜1位于所述铰接结构3的上方；在所述反射镜1垂直平动和绕轴转动的过程中，所述反射镜1与所述支撑结构4接触并改变转轴，所述转轴由所述铰接结构3变为所述支撑结构4；所述电驱动结构2提供的吸力与所述铰接结构3提供的被动力位于所述支撑结构4的两侧，且不发生重叠；所述反射镜1与所述支撑结构4接触后，所述吸力、被动力与支撑结构4为杠杆系统，支点为所述支撑结构4。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西北工业大学 一种微振镜结构及提高最大偏转角的方法
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