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一种安全的单晶炉炉底板 

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申请/专利权人:杭州顶星电子有限公司

摘要:本实用新型涉及单晶炉技术领域,具体涉及一种安全的单晶炉炉底板,包括底板、铜管水冷装置,所述铜管水冷装置由水冷环、连接铜管、出水管、环形铜管、进水管组成;所述水冷环前侧有出水管,所述水冷环后侧有进水管,所述水冷环内侧有连接铜管,所述连接铜管与水冷环内部的环形铜管连接,通过环形铜管可以将安装座的热量导出,再通过连接铜管将热量传递到水冷环上,环形铜管可以将安装座的热量导出,再通过连接铜管将热量传递到水冷环上,其中出水管和进水管可以将水冷环内部的水循环运动,达到快速降温的目的。

主权项:1.一种安全的单晶炉炉底板,包括底板1、铜管水冷装置2,其特征在于,所述铜管水冷装置2由水冷环21、连接铜管22、出水管23、环形铜管24、进水管25组成;所述水冷环21前侧有出水管23,所述水冷环21后侧有进水管25,所述水冷环21内侧有连接铜管22,所述连接铜管22与水冷环21内部的环形铜管24连接。

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