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申请/专利权人：广州增芯科技有限公司
摘要：本实用新型提供了一种涂胶显影机的显影槽，包括晶圆吸附台、内层收集杯、外层收集杯和喷嘴，晶圆吸附台设置于内层收集杯内，外层收集杯设置在内层收集杯的外围，喷嘴设置于晶圆吸附台下方的位置；晶圆通过晶圆吸附台吸附，晶圆的边缘位于内层收集杯杯沿上方；所述内层收集杯杯沿为双侧斜坡的圆环形结构；所述内层收集杯和所述外层收集杯的底部均设有排液结构。在本实用新型中，显影槽内层收集杯杯沿为双侧斜坡的圆环形结构，即内层收集杯的杯沿内外两侧均为具有导流作用的斜坡结构，可以在显影工艺的喷淋显影液步骤中有效提高显影槽对清洗液和显影液的混合液体的引流效果，减少晶圆背面粘附混合液，防止污染后续工艺设备。
主权项：1.一种涂胶显影机的显影槽，其特征在于，包括晶圆吸附台、内层收集杯、外层收集杯和喷嘴，所述晶圆吸附台设置于所述内层收集杯内，所述外层收集杯设置在所述内层收集杯的外围，所述喷嘴设置于所述晶圆吸附台下方的位置；晶圆通过所述晶圆吸附台吸附，所述晶圆的边缘位于所述内层收集杯杯沿上方；所述内层收集杯杯沿为双侧斜坡的圆环形结构；所述内层收集杯和所述外层收集杯的底部均设有排液结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广州增芯科技有限公司 一种涂胶显影机的显影槽
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