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一种正型感光性树脂组合物、固化膜及固化膜图案加工方法 

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申请/专利权人:武汉柔显科技股份有限公司;柔显(仙桃)光电半导体材料有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司

摘要:本发明提供种正型感光性树脂组合物固化膜及固化膜图案加工方法,包含碱溶性树脂,其中碱溶性树脂包含以下二胺化合物,其中该二胺化合物包含具有化学式2所示的结构;本发明中在感光树脂中引入含有丙烯酸侧基的二胺化合物,配合特定结构的热交联剂使用,可使得感光树脂组合物膜获得良好的耐热性,再配合以适量的酚是羟基二胺以及脂环族二酐化合物,在固化膜保持有良好耐热性的同时还可以获得适当的碱溶性,良好曝光敏感性以及较低的CTE。

主权项:1.一种正型感光性树脂组合物,其特征在于,包括:碱溶性树脂a100重量份、光产酸剂b10~30重量份、热交联剂c15~30重量份及有机溶剂d;所述碱溶性树脂a包含具有化学式1所示结构的重复单元,所述碱溶性树脂a是包含经由二酐化合物和二胺化合物的反应产物; 所述化学式1X来源自二酐化合物,Y源自二胺化合物,其中m和n为正整数,所述m介于0~2之间,所述n介于10~50000之间。所述二胺化合物包含具有化学式2所示的结构; 其中,结构式2中R1表示2价有机基团,所述R1表示包含碳原子数为1~4的直链烷烃,含支链烷烃中的一种,R2表示包含碳原子数1~8的脂肪烃,脂环烃或芳香烃中的一种或多种组合。

全文数据:

权利要求:

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