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申请/专利权人：安阳工学院
摘要：本发明给出了一种流化床式气流粉碎装置，包括隔离罩，在隔离罩的侧壁下部对称设置有高压硅粉喷嘴；在隔离罩的底部设置有高压Ar气进气管；在隔离罩的上部设置有冷等离子枪，冷等离子枪用以产生高活性冷等离子体物质；在隔离罩的侧壁上部设置硅粉颗粒分级系统，在硅粉颗粒分级系统的头部设置有硅粉隔离薄膜，用以过滤大颗粒硅粉，使大颗粒硅粉重新返回隔离罩，符合要求的小颗粒硅粉随着气流到达硅粉颗粒分级系统的尾部处理系统，尾部处理系统设置有引风机、出料筒和尾气管，粉碎并脱硼后的硅粉从出料筒排出。该装置使硅料粉碎过程与脱硼过程合步完成，无需高温下将硅料熔化，能耗低，除杂效果好。
主权项：1.一种流化床式气流粉碎装置，其特征在于，包括隔离罩，在隔离罩的侧壁下部对称设置有高压硅粉喷嘴；在隔离罩的底部设置有高压Ar气进气管；在隔离罩的上部设置有冷等离子枪，冷等离子枪用以产生高活性冷等离子体物质；在隔离罩的侧壁上部设置硅粉颗粒分级系统，在硅粉颗粒分级系统的头部设置有硅粉隔离薄膜，用以过滤大颗粒硅粉，使大颗粒硅粉重新返回隔离罩，符合要求的小颗粒硅粉随着气流到达硅粉颗粒分级系统的尾部处理系统，尾部处理系统设置有引风机、出料筒和尾气管，粉碎并脱硼后的硅粉从出料筒排出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安阳工学院 一种流化床式气流粉碎装置
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