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申请/专利权人：中国航空工业集团公司济南特种结构研究所
摘要：本发明属于航空电磁功能结构技术领域,具体涉及一种基于非晶硅器件的柔性有源频率选择表面及制造方法。柔性有源频率选择表面，包括柔性聚合物衬底、在衬底上周期性排列的非晶硅薄膜器件组成的功能层；所述功能层中非晶硅薄膜器件厚度小于20um。制备时，在单晶硅衬底上通过气相沉积工艺制备非晶硅薄膜；对非晶硅薄膜进行刻蚀，得到图案化的非晶硅二极管分立器件；制备金属电极，将非晶硅二极管串联或并联，制备得到有源频率选择表面；采用柔性薄膜转移工艺将基于非晶硅器件的有源频率选择表面转移到柔性聚合物衬底上，得到基于非晶硅器件的柔性有源频率选择表面。本发明可以实现海量器件一次性制造，大幅缩短产品制造周期，降低了制造成本。
主权项：1.一种基于非晶硅器件的柔性有源频率选择表面，其特征在于，包括柔性聚合物衬底、在衬底上周期性排列的非晶硅薄膜器件组成的功能层；所述功能层中非晶硅薄膜器件厚度小于20um。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国航空工业集团公司济南特种结构研究所 一种基于非晶硅器件的柔性有源频率选择表面及制造方法
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