买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：青岛四方思锐智能技术有限公司

摘要：本发明属于电子技术领域，公开一种固态源余量检测装置及其检测方法，固态源余量检测装置包括第一检测装置、第二检测装置和控制器，第一检、第二检测装置固定在源瓶的上方且吊装设置，第一、第二检测装置均包括环形壳体以及环形壳体上的称重传感器和温度传感器，其中一个环形壳体分别与源瓶的进气管和载气源的出气口密封连接，另一个环形壳体分别与源瓶的出气管和反应腔室的进气口密封连接，控制器分别与称重传感器和温度传感器电连接，用于根据温度传感器测得的温度和称重传感器测得的重量计算重量补偿系数K，以及根据测得的温度、测得的重量和重量补偿系数K计算源瓶内固态源的余量W。降低温度和硬件对检测结果的影响，提高检测精度。

主权项：1.一种固态源余量检测装置，其特征在于，包括第一检测装置10、第二检测装置11和控制器，所述第一检测装置10和所述第二检测装置11固定在源瓶5的上方，所述第一检测装置10和所述第二检测装置11吊装设置，所述第一检测装置10包括第一环形壳体101、第一称重传感器和第一温度传感器102，所述第一称重传感器和所述第一温度传感器102固定在所述第一环形壳体101上，所述第一环形壳体101分别与源瓶5的进气管1和载气源的出气口密封连接，所述第二检测装置11包括第二环形壳体111、第二称重传感器和第二温度传感器112，所述第二称重传感器和所述第二温度传感器112固定在所述第二环形壳体111上，所述第二环形壳体111分别与源瓶5的出气管3和反应腔室的进气口密封连接，所述第一称重传感器和所述第二称重传感器用于检测其下方的源瓶5、加热套6、进气管1、出气管3、进气阀2、出气阀4以及源瓶5内固态源的重量，所述第一温度传感器102和所述第二温度传感器112分别用于检测其所在处的温度，所述控制器分别与所述第一称重传感器、所述第二称重传感器、所述第一温度传感器102和所述第二温度传感器112电连接，用于根据所述第一温度传感器102测得的温度、所述第二温度传感器112测得的温度、所述第一称重传感器测得的重量和所述第二称重传感器测得的重量计算重量补偿系数K，以及根据所述第一温度传感器102测得的温度、所述第二温度传感器112测得的温度、所述第一称重传感器测得的重量、所述第二称重传感器测得的重量和所述重量补偿系数K计算源瓶5内固态源的余量W；所述控制器根据所述第一温度传感器102测得的温度、所述第二温度传感器112测得的温度、所述第一称重传感器测得的重量和所述第二称重传感器测得的重量计算重量补偿系数K的方法包括：源瓶5内未加入固态源时，从室温逐渐升温至第一温度，所述第一温度大于或等于工艺温度，将第一温度与室温之间的温度区间划分为n等分，其中n大于或等于3且n为整数，从室温升温至第一温度的过程中，分别在室温和每个等分节点温度时获取所述第一称重传感器和所述第二称重传感器测得的重量之和W1和Wn，其中节点温度为所述第一温度传感器102和所述第二温度传感器112测得的温度的平均值或所述第二温度传感器112测得的温度，W1与某节点温度下的Wn的差值得到该节点温度下的重量补偿值△W，以节点温度与室温的差值△T为横坐标、节点温度下的重量补偿值△W为纵坐标绘制线性关系图，所述线性关系图的斜率为重量补偿系数K；所述控制器根据所述第一温度传感器102测得的温度、所述第二温度传感器112测得的温度、所述第一称重传感器测得的重量、所述第二称重传感器测得的重量和所述重量补偿系数K计算源瓶5内固态源的余量W的方法包括：获取室温下源瓶内未加入固态源时第一称重传感器和所述第二称重传感器测得的重量之和W1；获取进行工艺过程中或工艺结束后，当前温度下第一称重传感器和第二称重传感器测得的重量之和W2；其中，当前温度为第一温度传感器102和第二温度传感器112测得的温度的平均值或第二温度传感器112测得的温度；计算温度差值△T：△T＝T-T0，其中，T为当前温度，T0为室温；计算源瓶5内固态源余量W：W＝W2+K*△T-W1。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 青岛四方思锐智能技术有限公司 固态源余量检测装置及其检测方法