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申请/专利权人：矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
摘要：本申请公开了一种检测装置及检测系统，涉及测试技术领域，公开了检测装置及检测系统，包括：通过将处理模块、电源模块、数据采集模块、第一测试模块和第二测试模块整合到一个检测装置中，实现了进行抗静电检测和电流电压参数测试并行、多通道测试，提升了检测灵活性和检测效率，同时在高压电源模块将高压电源输出到第一测试模块上，对被测单元进行抗静电检测的过程中，通过数据采集模块对高压电源进行实时采集，并将采集的高压电源传入到处理模块上进行高压电源监控，实现了对高压电源的实时监控，避免了检测装置损坏的风险。
主权项：1.一种检测装置，其特征在于，所述检测装置用于对被测单元进行检测，所述检测装置包括处理模块、电源模块、数据采集模块、第一测试模块和第二测试模块；所述处理模块通过数据线与所述数据采集模块相接，所述数据采集模块接入到所述电源模块上，所述电源模块通过高压连接线与所述第一测试模块相接，所述数据采集模块通过信号线与所述第一测试模块相接，所述第二测试模块通过测试信号线与所述第一测试模块相接，所述第一测试模块通过连接线缆与所述被测单元相接；所述电源模块，用于向所述第一测试模块提供高压电源；所述数据采集模块，用于采集所述高压电源，并将采集的所述高压电源传入所述处理模块上，通过所述处理模块对所述高压电源进行监控；所述第一测试模块，根据接入的控制信号闭合对应检测模式下的检测回路，将接入的高压电源通过所述闭合的检测回路传入到所述被测单元中，对所述被测单元进行抗静电检测；所述第二测试模块，用于所述被测单元进行电流电压参数测试。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 检测装置及检测系统
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