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申请/专利权人：天津大学
摘要：本公开提供了一种声波谐振器，包括：支撑层；振膜，位于支撑层上，并覆盖支撑层的空腔；以及多个电极条，位于振膜的第一表面和或第二表面，多个电极条分别沿第一方向延伸，且多个电极条沿第二方向分隔设置，第一表面背向空腔，第二表面面向所述空腔，其中，在第二方向上，多个电极条在振膜上的正投影均落入空腔在振膜上的正投影范围之内，相邻两个电极条之间的中线距离为第一预设距离，空腔侧壁与相邻电极条的距离为第一预设距离的0.6到2.7倍，本公开提供的声波谐振器通过调节空腔与电极之间的相对位置关系提升声波谐振器的品质因数。
主权项：1.一种声波谐振器，包括：支撑层；振膜，位于所述支撑层上，并覆盖所述支撑层的空腔；以及多个电极条，位于所述振膜的第一表面和或第二表面，所述多个电极条分别沿第一方向延伸，且所述多个电极条沿第二方向分隔设置，所述第一表面背向所述空腔，所述第二表面面向所述空腔，其中，在所述第二方向上，所述多个电极条在所述振膜上的正投影均落入所述空腔在所述振膜上的正投影范围之内，相邻两个所述电极条之间的中线距离为第一预设距离，所述空腔侧壁与相邻所述电极条的距离为所述第一预设距离的0.6到2.7倍。
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