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申请/专利权人：青岛华芯晶电科技有限公司

摘要：本发明公开了用于蓝宝石衬底表面清洗装置及其清洗方法，涉及清洗装置技术领域，为解决现有的清洗装置仅仅只能清洗少量的蓝宝石衬底，且清洗过程中的取放料较为不便，造成蓝宝石衬底清洗效率较低的问题，包括装置架台，装置架台的内部一体成型设置有集水筒，装置架台的上端设置有清洗框架，清洗框架一侧外壁上设置有超声频电源，清洗框架的内部设置有清洗仓，集水筒的一侧设置有回流抽泵；还包括：活动载座，其设置在所述清洗仓的上方位置上，且活动载座的内部设置有内圆槽，内圆槽的内部设置有四个限位滑槽和透水孔，透水孔和限位滑槽均与内圆槽为一体结构，四个限位滑槽的上方均设置有卡夹棒。

主权项：1.用于蓝宝石衬底表面清洗装置，包括装置架台（1），装置架台（1）的内部一体成型设置有集水筒（4），装置架台（1）的上端设置有清洗框架（2），清洗框架（2）一侧外壁上设置有超声频电源（14），清洗框架（2）的内部设置有清洗仓（3），集水筒（4）的一侧设置有回流抽泵（12）；其特征在于：还包括：活动载座（5），其设置在所述清洗仓（3）的上方位置上，且活动载座（5）的内部设置有内圆槽（6），内圆槽（6）的内部设置有四个限位滑槽（24）和透水孔（23），透水孔（23）和限位滑槽（24）均与内圆槽（6）为一体结构，四个限位滑槽（24）的上方均设置有卡夹棒（7）；导向穿孔（15），其设置在所述集水筒（4）的顶部位置上，且导向穿孔（15）的内部穿接设置有升降立杆（8），升降立杆（8）的底部一体成型设置有浮球（17），升降立杆（8）的顶部外壁上设置有传动连杆（9），传动连杆（9）的两端分别与升降立杆（8）和活动载座（5）焊接连接；延长棒（30），其安装在所述卡夹棒（7）的上端位置上，且延长棒（30）和卡夹棒（7）的内壁上均一体成型设置有衬底卡槽（31），卡夹棒（7）的底部一体成型设置有防脱滑块（26），卡夹棒（7）通过防脱滑块（26）与限位滑槽（24）导向活动连接；底插槽（18），其一体成型设置在所述活动载座（5）的底部位置上，且底插槽（18）的内部插装设置有内接插板（19），内接插板（19）的内部设置有嵌入式内槽（20），嵌入式内槽（20）的内部通过免钉胶固定设置有电热板（21），电热板（21）的接电端上设置有接电线（22）；所述回流抽泵（12）的进水端和出水端上均设置有回流水管（13），两个回流水管（13）分别与集水筒（4）和清洗仓（3）的内部连通设置，所述卡夹棒（7）和延长棒（30）的顶部均一体成型设置有螺纹顶槽（27），延长棒（30）的底部一体成型设置有连接螺头（29），延长棒（30）通过连接螺头（29）与螺纹顶槽（27）组装固定连接，所述限位滑槽（24）的内部设置有内接弹簧（25），内接弹簧（25）的两端通过免钉胶分别与防脱滑块（26）和限位滑槽（24）的一端内壁固定连接，所述清洗仓（3）的底部设置有超声波换能器（32），超声频电源（14）的输出端与超声波换能器（32）的输入端电性连接，所述清洗框架（2）的一侧外壁上设置有排水管（10），排水管（10）的起始端上设置有阀门（11），排水管（10）的末端与集水筒（4）的内部连通设置，所述清洗仓（3）的一侧内壁上设置有出水口（33），出水口（33）与排水管（10）的内部连通设置，出水口（33）的内部设置有滤水网（34）；所述的用于蓝宝石衬底表面清洗装置的清洗方法，包括以下步骤：步骤一：将需要进行清洗的蓝宝石衬底摆放到四个卡夹棒（7）之间的位置上，通过卡夹棒（7）内壁上的衬底卡槽（31）对圆盘状的蓝宝石衬底进行卡夹处理，卡夹棒（7）在卡夹蓝宝石衬底时通过防脱滑块（26）与限位滑槽（24）的活动连接，向外侧活动，使得四个卡夹棒（7）可以卡夹不同直径大小的蓝宝石衬底，并通过内接弹簧（25）推动卡夹棒（7）施加对蓝宝石衬底的卡夹力；步骤二：需要清洗较多蓝宝石衬底时，将延长棒（30）通过连接螺头（29）与螺纹顶槽（27）的拧合连接安装到卡夹棒（7）的上端位置上，使得延长棒（30）上的衬底卡槽（31）继续卡夹蓝宝石衬底，提高活动载座（5）的蓝宝石衬底的负载量；步骤三：进行清洗时，通过回流抽泵（12）和回流水管（13）将集水筒（4）内的清洗水抽出并注入清洗仓（3）的内部，此时由于集水筒（4）内的水位下降，使得升降立杆（8）同步下降，进而带动活动载座（5）落入清洗仓（3）的内部浸泡清洗；步骤四：浸泡清洗的过程中，通过超声波换能器（32）将功率超声频源的声能转换成机械振动，通过清洗仓（3）内壁将超声波辐射到清洗仓（3）中的清洗水中，从而剥离蓝宝石衬底表面的污渍，清洗完成后，打开阀门（11），使得清洗水通过滤水网（34）的过滤后流入集水筒（4）的内部，将浮球（17）浮起，从而带动升降立杆（8）升起，并带动活动载座（5）从清洗仓（3）的内部升起；步骤五：将内接插板（19）插接安装到底插槽（18）的内部，然后将接电线（22）外接电源为电热板（21）供电，电热板（21）接电后放热，对活动载座（5）的上方进行加热，将蓝宝石衬底烘干。

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