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申请/专利权人:博纳半导体设备(浙江)有限公司
摘要:本实用新型公开一种化学药液回收装置,涉及化学药品技术领域,包括瓶底板,所述瓶底板顶端固定连接有固定保护壁;所述固定保护壁为半圆柱形,其一端固定连接有密封支板,密封支板前端固定连接有辅助固定板,辅助固定板外侧滑动连连接有定位挂板;所述固定保护壁顶端固定连接有瓶顶板;所述瓶顶板顶端中心位置固定连接有顶板连接口,瓶顶板顶端固定连接有控温液入口;同时,本实用新型在使用时,通过采用控温液入口、控温螺旋管和泄压排气口形成的独立的环境控制直接控制固定保护壁形成的保护舱,进而通过保护舱内部的空气间接对内反应瓶内部的温度进行控制,防止温度变化过于剧烈导致的内部温度受到影响,导致产物质量受到影响。
主权项:1.一种化学药液回收装置,包括瓶底板1,其特征在于,所述瓶底板1顶端固定连接有固定保护壁2;所述固定保护壁2为半圆柱形,其一端固定连接有密封支板21,密封支板21前端固定连接有辅助固定板22,辅助固定板22外侧滑动连连接有定位挂板23;所述固定保护壁2顶端固定连接有瓶顶板3;所述瓶顶板3顶端中心位置固定连接有顶板连接口31,瓶顶板3顶端固定连接有控温液入口32;所述瓶顶板3内侧转动连接有内隔离瓶4,瓶底板1底端滑动连接有底泄压推杆5。
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权利要求:
百度查询: 博纳半导体设备(浙江)有限公司 一种化学药液回收装置
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