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申请/专利权人：常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种低压石墨衬套工装，涉及石墨衬套技术领域，包括下衬套，所述下衬套前侧开设有工艺气进入口，所述下衬套顶部一体成型连接有上衬套，所述上衬套一侧开设有氨气进入口，所述下衬套和上衬套内部相连通；通过在下衬套上加厚增设一个上衬套，再在上衬套上开设一个氨气进入口，使用时通过氨气进入口导入氨气，而工艺气进入口则用于导入其他工艺气，氨气和工艺气分开导入可有效避免氨气与其他工艺气提前混合反应生产副产物的问题，使用更方便。
主权项：1.一种低压石墨衬套工装，包括下衬套1，其特征在于：所述下衬套1前侧开设有工艺气进入口2，所述下衬套1顶部一体成型连接有上衬套4，所述上衬套4一侧开设有氨气进入口5，所述下衬套1和上衬套4内部相连通。
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权利要求：
百度查询： 常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司 一种低压石墨衬套工装
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