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申请/专利权人：湖南玉丰真空科学技术有限公司
摘要：本发明公开了化学气相沉积设备升降传输连动镀膜机构，涉及化学气相沉积镀膜设备技术领域，包括真空腔体，真空腔体的侧壁设置有传动辊轮机构，传动辊轮机构包括磁流体传输轴，磁流体传输轴的底部固定连接有传动轴动板，传动轴动板的下方设置有伸缩气缸，伸缩气缸远离真空腔体的一端滑动连接有气缸端头，气缸端头的端部插接有E型板，传动轴动板固定连接在E型板的顶部，真空腔体的底部设置有顶升机构，顶升机构包括顶升架，顶升架的顶部固定连接有若干个顶升立柱，顶升立柱延伸至真空腔体内的一端固定连接有顶针固定板，解决了现有装置中，加工步骤繁琐，装置不易维修，维修操作难度大，以及容易传动卡滞、工作效率低下的技术问题。
主权项：1.化学气相沉积设备升降传输连动镀膜机构，其特征在于，包括真空腔体1，所述真空腔体1的侧壁设置有传动辊轮机构3，其中：所述传动辊轮机构3包括磁流体传输轴301，所述磁流体传输轴301的底部固定连接有传动轴动板303，所述传动轴动板303的下方设置有伸缩气缸304，所述伸缩气缸304远离真空腔体1的一端滑动连接有气缸端头3041，所述气缸端头3041的端部插接有E型板3042，所述传动轴动板303固定连接在E型板3042的顶部，所述真空腔体1的底部设置有顶升机构4，所述顶升机构4包括顶升架405，所述顶升架405的内部滑动连接有顶升滑台406，所述顶升架405的顶部固定连接有若干个顶升立柱403，所述顶升立柱403延伸至真空腔体1内的一端固定连接有顶针固定板402，所述顶针固定板402的顶部固定连接有顶针工件401。
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百度查询： 湖南玉丰真空科学技术有限公司 化学气相沉积设备升降传输连动镀膜机构
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