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申请/专利权人：准懋(杭州)科技有限公司
摘要：公开了一种MEMS器件，包括：可动电极板；位于可动电极板第一侧的第一电极板和第三电极板，第一电极板与可动电极板构成第一电容，第三电极板与可动电极板构成第三电容；以及位于可动电极板第二侧的第二电极板和第四电极板，第二电极板与可动电极板构成第二电容，第四电极板与可动电极板构成第四电容；其中，第一电容和第二电容连接至检测电路；第三电容和第四电容连接至参考电路；检测电路的输出端和参考电路的输出端连接至除法器的输入端，除法器用于消除检测电路的输出电压与可动电极板位移的非线性关系。
主权项：1.一种MEMS器件，其中，包括：可动电极板；位于所述可动电极板第一侧的第一电极板和第三电极板，所述第一电极板与所述可动电极板构成第一电容，所述第三电极板与所述可动电极板构成第三电容；以及位于所述可动电极板第二侧的第二电极板和第四电极板，所述第二电极板与所述可动电极板构成第二电容，所述第四电极板与所述可动电极板构成第四电容；其中，所述第一电容和所述第二电容连接至检测电路；所述检测电路用于对所述第一电容和第二电容进行差分检测；所述第三电容和所述第四电容连接至参考电路；所述参考电路用于对所述第三电容和所述第四电容进行检测；所述检测电路的输出端和所述参考电路的输出端连接至除法器的输入端，所述除法器用于消除所述检测电路的输出电压与可动电极板位移的非线性关系；其中，所述参考电路包括第四运算放大器，所述第四运算放大器的反相输入端连接至所述第三电极板和所述第四电极板，其输出端连接至所述除法器，所述参考电路的输出电压与可动电极板位移呈非线性关系。
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权利要求：
百度查询： 准懋(杭州)科技有限公司 一种MEMS器件
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