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申请/专利权人：无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司

摘要：本发明公开了一种晶圆夹持及热处理设备，涉及晶圆热处理技术领域，包括：炉体，其内壁固定有隔热层；隔离板，被配置为多个，包裹在所述炉体的外壁，且与所述炉体之间设置有隔离通道；密闭门，转动设置在所述炉体上；加热模块，被配置为多个，对称安装在所述炉体的两侧壁；辅助加热模块，被配置为多个，对称安装在所述炉体的上下两端面；温度传感器，被配置多个，等距布设在所述炉体内；调节组件，被配置为多个，等距布设在所述炉体的两侧壁，用于对晶圆进行夹持，且与所述加热模块交错布设。本发明通过调节组件的调节，能够对不同尺寸的晶圆进行夹持，并且通过辅助加热模块和加热模块，能够对晶圆进行多方位的热处理。

主权项：1.一种晶圆夹持及热处理设备，其特征在于：包括：炉体（1），其内壁固定有隔热层；隔离板（2），被配置为多个，包裹在所述炉体（1）的外壁，且与所述炉体（1）之间设置有隔离通道；密闭门（3），转动设置在所述炉体（1）上；加热模块（4），被配置为多个，对称安装在所述炉体（1）的两侧壁；辅助加热模块，被配置为多个，对称安装在所述炉体（1）的上下两端面；温度传感器（5），被配置多个，等距布设在所述炉体（1）内；调节组件（6），被配置为多个，等距布设在所述炉体（1）的两侧壁，用于对晶圆（7）进行夹持，且与所述加热模块（4）交错布设；其中，所述加热模块（4）和辅助加热模块被配置为第一工作状态和第二工作状态，所述第一工作状态为一侧的加热模块（4）进气，另一侧的加热模块（4）出气，此时辅助加热模块处于关闭状态，所述第二工作状态为两侧的加热模块（4）同时进气，此时开启位于上端面或下端面的辅助加热模块；所述调节组件（6）包括：防护罩（61），固定在所述炉体（1）的一侧外壁上；轴承座（62），被配置为两个，对称布设在所述防护罩（61）内，且与所述炉体（1）固定连接；驱动电机（63），固定在所述炉体（1）的外壁上，且位于所述防护罩（61）的外部；螺杆（64），转动设置在两个所述轴承座（62）内，由所述驱动电机（63）驱动；调节块（65），滑动设置在所述炉体（1）上，且与所述螺杆（64）螺纹连接；夹持组件（66），滑动设置在所述炉体（1）内，且与所述调节块（65）固定连接。

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