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申请/专利权人：上海矽睿科技股份有限公司
摘要：本申请涉及一种TMR磁传感器，包括：基板，包括倾斜结构，倾斜结构的斜面在第二方向和第三方向之间倾斜；设置于基板的第一磁场敏感区和第二磁场敏感区，第一磁场敏感区和第二磁场敏感区均由磁性隧道结经串联或并联或串联和并联相结合的方式组成；位于第一磁场敏感区的磁性隧道结布置于基板的平面，且具有沿第一方向的钉扎方向；位于第二磁场敏感区的磁性隧道结至少部分布置于倾斜结构的斜面上，且布置于倾斜结构的斜面上的磁性隧道结具有沿倾斜结构的斜面的钉扎方向；第一方向、第二方向和第三方向之间两两垂直，且第三方向还与基板的平面相垂直。形成三分量磁场感应检测空间磁场大小和方向，实现三轴磁场的检测。
主权项：1.一种TMR磁传感器，其特征在于，包括：基板，所述基板包括倾斜结构，所述倾斜结构的斜面在第二方向和第三方向之间倾斜；设置于所述基板的第一磁场敏感区和第二磁场敏感区，所述第一磁场敏感区和所述第二磁场敏感区均由磁性隧道结经串联或并联或串联和并联相结合的方式组成；位于所述第一磁场敏感区的磁性隧道结布置于所述基板的平面，且具有沿第一方向的钉扎方向；位于所述第二磁场敏感区的磁性隧道结至少部分布置于所述倾斜结构的斜面上，且布置于所述倾斜结构的斜面上的磁性隧道结具有沿所述倾斜结构的斜面的钉扎方向；其中，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向之间两两垂直，且所述第三方向还与所述基板的平面相垂直。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海矽睿科技股份有限公司 TMR磁传感器
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