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运输装置 

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申请/专利权人:西安芯晖设备技术有限公司

摘要:本公开涉及运输装置。该运输装置用于运输单晶炉的热屏,其包括:至少两个支承件,支承件通过支承热屏的上部而保持热屏,所述至少两个支承件中的至少一个支承件是可旋转的并且能够旋转成使其上端部在高度方向上的位置降低;以及保持件,保持件用于将可旋转的支承件保持在其支承热屏的支承位置。通过这种运输装置,能够缩短热屏在提升过程中需要经过的路程,从而节省操作人员的等待时间。

主权项:1.一种运输装置,用于运输单晶炉的热屏,其特征在于,所述运输装置包括:至少两个支承件,所述支承件通过支承所述热屏的上部而保持所述热屏,所述至少两个支承件中的至少一个支承件是可旋转的并且能够旋转成使其上端部在高度方向上的位置降低;以及保持件,所述保持件用于将可旋转的所述支承件保持在其支承所述热屏的支承位置。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 西安芯晖设备技术有限公司 运输装置

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