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一种氟油喷涂系统 

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申请/专利权人:佛山市联动科技股份有限公司

摘要:本实用新型涉及晶圆测试技术领域,提供了一种氟油喷涂系统。该氟油喷涂系统包括:氟油喷涂装置、探针台装置和测试机;测试机,通过第一通讯线与氟油喷涂装置连接,以实现对氟油喷涂装置的控制;测试机,通过第二通讯线与探针台装置连接,以实现对探针台装置的控制。通过本实用新型,测试机通过第一通讯线与氟油喷涂装置连接,测试机通过第二通讯线与探针台装置连接,减轻人工喷涂氟油负担,提高晶圆测试效率。

主权项:1.一种氟油喷涂系统,其特征在于,所述系统包括:氟油喷涂装置、探针台装置和测试机;所述测试机,通过第一通讯线与所述氟油喷涂装置连接,以实现对所述氟油喷涂装置的控制;所述测试机,通过第二通讯线与所述探针台装置连接,以实现对所述探针台装置的控制。

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权利要求:

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