买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
申请/专利权人:佛山市联动科技股份有限公司
摘要:本实用新型涉及晶圆测试技术领域,提供了一种氟油喷涂系统。该氟油喷涂系统包括:氟油喷涂装置、探针台装置和测试机;测试机,通过第一通讯线与氟油喷涂装置连接,以实现对氟油喷涂装置的控制;测试机,通过第二通讯线与探针台装置连接,以实现对探针台装置的控制。通过本实用新型,测试机通过第一通讯线与氟油喷涂装置连接,测试机通过第二通讯线与探针台装置连接,减轻人工喷涂氟油负担,提高晶圆测试效率。
主权项:1.一种氟油喷涂系统,其特征在于,所述系统包括:氟油喷涂装置、探针台装置和测试机;所述测试机,通过第一通讯线与所述氟油喷涂装置连接,以实现对所述氟油喷涂装置的控制;所述测试机,通过第二通讯线与所述探针台装置连接,以实现对所述探针台装置的控制。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 佛山市联动科技股份有限公司 一种氟油喷涂系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。