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申请/专利权人：江苏卓胜微电子股份有限公司
摘要：本实用新型提供了一种除尘装置，用于对搬运车进行除尘，除尘装置包括：箱体，箱体具有容纳腔、进气口和真空吸气口，进气口和真空吸气口均与容纳腔连通；第一支撑组件和第二支撑组件，第一支撑组件和第二支撑组件间隔设置在容纳腔的顶部，第一支撑组件和第二支撑组件的间隔可调，第一支撑组件和第二支撑组件配合对搬运车进行支撑；吹扫组件，与进气口连通，吹扫组件通过进气口对搬运车进行吹扫；真空组件，与真空吸气口连通，真空组件能够吸除容纳腔内的灰尘。通过本申请提供的技术方案，能够解决现有技术中的在对搬运车除尘过程中，无法有效避免对洁净室的污染的问题。
主权项：1.一种除尘装置，用于对搬运车100进行除尘，其特征在于，所述除尘装置包括：箱体10，所述箱体10具有容纳腔11、进气口12和真空吸气口13，所述进气口12和所述真空吸气口13均与所述容纳腔11连通；第一支撑组件21和第二支撑组件22，所述第一支撑组件21和所述第二支撑组件22间隔设置在所述容纳腔11的顶部，所述第一支撑组件21和所述第二支撑组件22的间隔可调，所述第一支撑组件21和所述第二支撑组件22配合对所述搬运车100进行支撑；吹扫组件，与所述进气口12连通，所述吹扫组件通过所述进气口12对所述搬运车100进行吹扫；真空组件，与所述真空吸气口13连通，所述真空组件能够吸除所述容纳腔11内的灰尘。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏卓胜微电子股份有限公司 除尘装置
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