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摘要：本发明提供一种乙硅烷中痕量杂质元素的检测方法，采用本发明的方法能够有效去除硅基质对关键杂质元素的检测干扰，利于准确灵敏的同步检测乙硅烷中多种痕量杂质元素。所述检测方法包括如下步骤：1对乙硅烷待测样品进行前处理：将所述乙硅烷待测样品用碱液进行吸收反应，得到吸收液，然后将所述吸收液和氢氟酸接触反应，之后将所得反应液进行加热，挥发其中的液体，然后加入硝酸溶解其中的残余物并定容，得到待测样液；2将所述待测样液进行所述痕量杂质元素的检测，根据检测结果确定所述待测样品中痕量杂质元素的含量。
主权项：1.一种乙硅烷中痕量杂质元素的检测方法，其特征在于，所述检测方法包括如下步骤：1对乙硅烷待测样品进行前处理：将所述乙硅烷待测样品用碱液进行吸收反应，然后将所述吸收液和氢氟酸接触反应，之后将所得反应液减压加热处理，使其中的液体被除去，获得固态残余物，然后加入硝酸溶解所述固态残余物并定容，得到待测样液；2将所述待测样液进行所述痕量杂质元素的检测，根据检测结果确定所述待测样品中痕量杂质元素的含量。
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百度查询： 烟台万华电子材料有限公司 一种乙硅烷中痕量杂质元素的检测方法
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